Servicio
Equipo
- Microscopio Dual Beam, AMBER X de TESCAN, con modo de operación en Alto Vacío, dotado de:
- Columna electrónica SEM BrightBeam™ de ultra alta resolución, libre de campos magnéticos
- Fuente de electrones por emisión de campo tipo Schottky (cátodo caliente)
- Tubo de potencial que mejora el rendimiento, especialmente a bajas energías del haz de electrones
- Doble lente objetivo, electrostática/electromagnética
- Rango de energía del haz de electrones entre 200 eV y 30 keV
- Rango de corriente del haz de electrones entre 2 pA y 400 nA
- Resolución de 0.9 nm a 30 keV; 0.9 nm a 15 keV; 1,4 nm a 1 keV
- Columna iónica i-FIB+™ de Orsay Physics
- Fuente de iones de plasma de Xe
- Aperturas motorizadas
- Supresor electroestático del haz de iones con copa de Faraday integrada
- Rango de energía del haz de iones entre 3 keV y 30 keV
- Rango de corriente del haz de iones entre 1 pA y 3 µA
- Campo de visión máximo: 1 mm
- Resolución de 12 nm a 30 keV
- Cámara de muestras GM gigante
- Platina motorizada en 5 ejes con movimientos:
- X=130 mm
- Y=130 mm
- Z=90 mm
- Inclinación (T): de - 60º a + 90º
- Rotación completa en 360º.
- Admite muestras de hasta 1 kg (sin limitaciones en los ejes) y de hasta 8 kg (sin inclinación ni rotación)
- Sistema antivibratorio activo integrado
- Platina motorizada en 5 ejes con movimientos:
- Detectores
- Detector en cámara Everhart Thornley (E-T): señal mezcla de SE1 y SE2 (electrones BSE con información de topografía) (Tubo de potencial activado), eliminando el efecto borde y los artefactos de carga de las imágenes; señal pura de SE (Tubo de potencial desactivado)
- Detector en cámara de electrones BSE a baja energía (LE-BSE): señal de BSE de gran ángulo, detectada incluso a bajas energías del haz de electrones (hasta 200 eV)
- Detector en columna Axial (Axial): señal de SE y BSE de bajo ángulo, procedentes de un área radial pequeña alrededor del eje óptico. Con Tubo de potencial activado mejora la colección de la señal, especialmente a cortas distancias de trabajo
- Detector en columna Multidetector (MD): señal de SE (Tubo de potencial activado) y de BSE de baja energía (low energy BSE) y ángulo intermedio (Tubo de potencial desactivado), detectada incluso a bajas energías del haz de electrones. Mejora la colección de la señal a cortas distancias de trabajo
- Detector STEM (HADF R-STEM): señal de electrones transmitidos de barrido en modo campo claro (BF), campo oscuro (DF) y campo oscuro de alto ángulo (HADF). Resolución: 0.8 nm
- Sistema de inyección de gases (GIS), OptiGIS™
- Línea de inyección del precursor Pt para Procesado Inducido por Haz de Iones Focalizado (FIBIP) o Procesado Inducido por Haz de Electrones Focalizado (FEBIP)
- Limpiador por Plasma (Plasma Cleaner), PRS de XEI Scientific, Inc.
- Integrado en el equipo, con capacidad de limpieza de la muestra o de la cámara
- Software aplicativo Essence de TESCAN, con los siguientes módulos:
- Procesamiento de imagen
- Observación simultanea FIB y SEM
- Creación y control de patrones de mecanizado de la muestra
- Tomografía
- Reconstrucciones 3D
- Sistema de microanálisis de rayos-X (EDS), ULTIM MAX 100, de Oxford Instruments
- Detector SDD retráctil, con obturador y refrigeración por sistema Peltier
- Gran superficie activa de detección de 100 mm2
- Resolución en Energía a 5.9 keV: 127 eV
- Software AZtec® 5.0 SP1 con los siguientes módulos:
- Columna electrónica SEM BrightBeam™ de ultra alta resolución, libre de campos magnéticos
- Microscopio Óptico de luz Polarizada, AXIO SCOPE A1 de CARL ZEISS, dotado de:
- Objetivos N-Achroplan de 5x, 10x, 20x y 50x
- Sistema fotográfico con cámara digital Zeiss, Axiocam ERc 5s
- Software ZEN para el tratamiento de las imágenes
- Unidad de metalización con oro NANOTECH SEMPREP2
- Unidad de evaporación con carbón POLARON CC7650
Técnicas
- Para el Microscopio Dual Beam, AMBER X de TESCAN
- Estudio de la superficie de muestras, tanto conductoras como no conductoras cubiertas.
- Microfotografías digitales para imágenes de contraste topográfico (SE) y contraste composicional (BSE), con una resolución máxima de 16384x16384 pixeles, y para imágenes observadas mediante STEM.
- Microanálisis EDX puntuales, perfiles analíticos y mapas de distribución de elementos con número atómico superior al Be. Microanálisis cualitativo y cuantitativo, este último en muestras delgado-pulidas.
- Corte de trincheras sobre zonas de interés in situ, haciendo posibles la observación y el microanálisis directos sobre las mismas. Cortes seriados de trincheras y posterior reconstrucción 3D, tanto morfológica como composicional.
- Fabricación de lamelas para su posterior observación en TEM.
- Para el Microscopio Óptico de luz Polarizada, AXIO SCOPE A1 de CARL ZEISS
- Digitalización de preparaciones petrográficas, citológicas, histológicas, histopatológicas, microbiológicas, etc.
- Preparación de muestras
- Preparación de distinto tipo de muestras previamente tratadas: masas inalteradas, material pulverulento, material sedimentable, etc.
- Recubrimiento-Metalización de las muestras con oro o carbono.
Aplicaciones
- Investigación básica en Ciencias de la Tierra, de los Materiales, Biomédicas, Biológicas, Químicas, Físicas, Farmacia, Bellas Artes, Ingenierías, Arquitectura, etc.
- Control de Calidad industrial.
- Conservación del Patrimonio
Asesor/a Científico/a
Personal Técnico
Tarifas
Tarifas
SEM-FF001
Hora de uso de Microscopio Óptico
7
SEM-FF002
Metalización oro (1-6 muestras)
31
SEM-FF003
Metalización carbón (1-6 muestras)
36
SEM-FF004
Portamuestras SEM (sin descuento)
Bajo presupuesto
SEM-FF005
Caja SEM para 1 muestra (Sin descuento)
Bajo presupuesto
SEM-FF006
Caja SEM para 4 muestras (Sin descuento)
Bajo presupuesto
SEM-FF007
Caja SEM para 12 muestras (Sin descuento)
Bajo presupuesto
SEM-FF008
Hora de trabajo de Técnico Superior
84
SEM-FF009
Minuto de trabajo de Técnico Superior (mínimo 15)
1.5
SEM-FF010
Hora de uso FESEM
120
SEM-FF011
Hora de uso FESEM (Autoservicio)
100
SEM-FF012
Hora de uso Dual Beam modo FESEM
120